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发布日期:2021年12月07日
200系列光刻机 —— TFT曝光


SSB225

SSB245

SSB260

SSB200系列投影光刻机采用先进的投影光刻机平台技术,专用于AM-OLED和LCD显示屏TFT电路制造,可应用于2.5代~6代的TFT显示屏量产线。该系列设备具备高分辨率、高套刻精度等特性,支持6英寸掩模,显著降低用户使用成本。
  产品特征

● 高精度,分辨率可达1.5μm

● 支持小Mask,可用6英寸掩模实现12英寸屏幕制造

● 具备智能化校准及诊断功能,方便设备参数校调及用户周期性维护

● 快速灵活的客制化服务

  主要技术参数

 型号

分辨率

 套刻精度

 基板尺寸

SSB225/10

2μm L/S

0.6μm

370mm×470mm
500mm×500mm

SSB225/20

1.5μm L/S

0.5μm

370mm×470mm
500mm×500mm

 SSB245/102μm L/S0.6μm730mm×920mm
 SSB245/201.5μm L/S0.5μm730mm×920mm
 SSB260/10T2μm L/S0.6μm1300mm×1500mm
1500mm×1850mm
 SSB260/20T1.5μm L/S0.5μm1300mm×1500mm
1500mm×1850mm转载原创BHG Inotia 3 Children of Carnia 艾诺迪亚 ,求一款可以看高清直播电视的软件 威锋 千万果粉大本营,(更新已果断降级)tap sonic 实在是太喜欢这个游戏了 没hol